СВАРОЧНАЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА В СОЧЕТАНИИ С РАСТРОВЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ МИКРОСКОПОМ РЭМ-108

 

Сварочная электронно-лучевая установка в сочетании с растровым электронным микроскопом РЭМ-108 предназначена для сварки малогабаритных деталей электронным лучом, просмотра топографии поверхности свариваемых деталей и сварного шва в растровом режиме во вторичных и отраженных электронах, наведения на стык свариваемых деталей, измерений линейных размеров сварного шва и элементов топологии поверхности свариваемых деталей.

ОСОБЕННОСТИ ПРИБОРА

• Процесс сварки полностью автоматизирован
• Управление сварочным процессом производится с помощью промышленного компьютера, возможно управление процессом сварки от дистанционного компьютера
• Имеется шлюзовое устройство для загрузки свариваемых деталей
• Режим сварки задается оператором
• Просмотр сварного шва осуществляется с помощью растрового режима установки во вторичных и отраженных электронах
• 5-ти координатный манипулятор
• Система откачки: один форвакуумный и два турбомолекулярных насоса
• Типы катодов: Vобразный вольфрамовый, LaB₆ ― таблетка
• Электронно-оптическая система: электронная пушка, две электромагнитных линзы, отклоняющие и корректирующие системы
• Программное обеспечение WINDOWS-XP.

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Мощность электронного луча на объекте, Вт, не более                               500

Плотность мощности на объекте в режиме сварки, Вт/см²                            5,6×10⁶

Минимальный диаметр электронного луча в режиме сварки, мкм                 60

Диапазон ускоряющих напряжений, кВ                                                          от 30 до 50

Диапазон регулировки тока зонда, А                                                             от 10^-4 до 10^-2

Разрешающая способность в режиме РЭМ, нм, не более                             1000

Диапазон увеличений, крат                                                                            от 40 до 1000

Диапазон измерений линейных размеров, мкм                                              1 – 5000

Манипулятор:

• Максимальный размер объекта, мм                                                  100х100х40
• Диапазон перемещений:

- по координатам X, Y, мм                                                                                  ±50

- по координате Z, мм                                                                             40

- наклон, град.                                                                                         -5¸90

- вращение, град.                                                                                    360