Сумы
Кварцевый измеритель толщины пленки (КИТ) успешно применяется для контроля толщины напыляемых в вакууме многослойных пленочных структур.
Прибор предназначен для контроля
толщины пленок в процессах напыления многослойных пленочных структур.
Для организации контроля толщины пленок в автономном режиме необходимо занести в память параметры материалов и слоев и запрограммировать формулу пленочной структуры (указать последовательность напыляемых слоев). Результаты измерений отображаются на ЖКИ индикаторе, прибор реагирует на нажатия клавиатуры, внешний дискретный сигнал запуска. При достижении требуемой толщины слоя вырабатывается сигнал останова, который может применяться для автоматического закрытия заслонок, отключения питания распылительных устройств и т. п.
При работе в составе с АСУ данные о частоте кварцевого датчика передаются по интерфейсу RS-232 или RS-485.
Технические характеристики:
Разрешающая способность по частоте, Гц………………………. 1
Разрешающая способность по толщине на Ta2O5, нм…………… 0.1
Период измерения, с………………………………………………. 1
Диапазон измеряемых частот, МГц…. …………………………… от 4 до 10
Количество материалов (одновременно программируемых) …. 10
Количество слоев (одновременно программируемых) ………… 10
Количество пленок (одновременно программируемых) ………… 3
Сигнал внешнего запуска, В……………………………………… от 5 до 12
Сигнал останова…………………………………………………… «сухой контакт»
Напряжение питания, В…………………………………………… 220
Частота питающей сети, Гц……………………………………… 50
Потребляемая мощность, Вт……………………………………… 6
Габаритные размеры прибора, мм………………………………. 110х130х260,
19», 3U согласно МЭК 297
Изоляция по сигнальным шинам, В……………………………… 2500
Интерфейс связи с внешними устройствами…………………… RS232
Диапазон рабочих температур, °С………………………………… от 0 до 50
Относительная влажность при температуре 20о С не более, %… 85
Атмосферное давление, кПа……………………………………… 84÷106
